• 半导体器件工艺仿真，刻蚀、填充、注入等
• Silvaco 、Sentaurus多维仿真
• 微流体仿真，电、磁、热、声场、光等多场耦合
• 流体、固体、机电多维耦合分析
• Comsol、Fluent、CFX，静态、动态、瞬态、频域仿真

• 图案化金属电极、光电薄膜、半导体器件
• 大规模TFT阵列/CMOS阵列
• 微流道、毛细管道、微孔阵列、微腔室
• 封装键合、布线、接口、注液等

• SIMS、SEM、FIB、EDX、AFM
• 微观结构分析、断面结构分析表面元素分析、表面粗糙度分析

• SPR、PPMS、霍尔测试
• 载流子浓度测试、结深测试、输出特性测试、转移特性测试

• 薄膜应力仪、膜厚测量仪、台阶仪、白光干涉仪、椭偏仪
• 薄膜应力、翘曲测量、二维成像、膜厚测量、折射率测量

• 光学测试平台、电学测试平台、磁控测试平台、液路测试平台等
• 电、磁、光、热、机械等测试平台搭建与流体耦合测试